авторы: Semenova A.A.Goodilin E.A.Semenov A.P.Semenova I.A.Ivanov V.K.Tretyakov Y.D.название статьи: Production of photon crystal structures: silicon dioxide-silver by ion beam sputtering of silver год публикации: 2012том, номера страниц, doi: V.55. P.92-97.журнал: Russ. Phys. J.id: 238