авторы: A.S. BrichkovV.Y. BrichkovaL.A. EgorovaV.V. KozikV.K. Ivanov.название статьи: Peculiarities of SiO2-MxOy (where М – Mn, Fe, Co, Ni) Thin Films Formation год публикации: 2015том, номера страниц, doi: V.670. P.44–48.журнал: Key Eng. Mater.id: 284