название статьи:
Синтез тонких пленок на основе ZnO, допированных Ga, In и определение их состава методами рентгеновской спектроскопии и масс-спектрометрии с индуктивно связанной плазмой
год публикации:
2016
том, номера страниц, doi:
Т.82. №11. С.17–21.
id:
353